제품소개

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Spectrometer

EUV/VUVVM100 EUV/UV

EUV SPECTROMETER

VM100

  • 마이크로 미터를 사용하여 수동으로 조절 가능한 슬릿
  • 25 - 1100nm 의 넓은 파장범위 (세부사양 참조)
  • < 10-7 torr에 대응하는 진공
  • 진공챔버에 직접연결 가능
제품문의 자료실 동영상 카다로그
BEST Good
제품특징
  • 제품특징 이미지
    소프트웨어 제어
    프로그램을 통한 Grating 변경
  • 제품특징 이미지
    Wavelength range
    25 - 1100 nm
    넓은 파장영역대역
  • 제품특징 이미지
    초소형
    초소형, 원격조작 가능
  • 제품특징 이미지
    OES 특화
    진공챔버에 직접연결
  • 제품특징 이미지
    USB
    최대 10m USB케이블로 제어
  • 제품특징 이미지
    VUV
    VUV 대역으로 확장 가능
  • 제품특징 이미지
    NIST
    NIST 교정(선택사항)
  • 제품특징 이미지
    Best
    가격 대비
    우수한 성능
제품사양
제품사양
VM100 Specifications
Specifications Minimum Typical/Median Maximum Unit
Focal Length (input)

 

100

 

mm
Focal Length (output)   94   mm

Wavelength Range depends on grating

25

-

1100

nm
Wavelength Accuracy - ± 0.15 - nm
CCD QE 25 to 400 nm

8

18

20

%
CCD QE for 400 to 930 nm 15   42 %
CCD QE for 930 to 1050

3

 

15

%
Best Spectral Resolution 1200
grating first order		   0.3   nm

Manually adjustable vacuum slit(s)

10

100

6000

microns
Connection Two USB 2.0 cables for data, po6er and servo control
Pressure

<1 x 10-7

1 x 10-6

na

mBar
Detector 2048 pixel linear array with EUV/UV phosphor
F #

 

3.3

 

 
Grating 1199.99 1200 1200.001 grooves/mm
Grating coatings Pt, Au, Al/MgF2

제품사양
VM100 Spectral Characteristics
Spectral range gtg angle
(deg.)		 short wl
(nm)		 long wl
(nm)		 RLD
(nm/mm)
EUV VUV

35.9

25

220

7.01
VUV UV
39.1
100
300
7.20

UV VIS

43.23

200

405

7.40
VIS
51.8
400
610
7.70
VIS NIR

60.8

600

815

7.89
NIR
70.5
800
1010
7.74

VM100 Mechanical
Max. Dimensions

Height : 26.3 cm

Height (with HV adaptor) : 30cm

Width Spectrograph : 21.2 cm

Depth Spectrograph : 16.4 cm

Tolerances : 0.2 cm

Materials

Optical Bench : Aluminum/6061 T6

Vacuum Adapters : 304 SS, OFE Cu gaskets
Mass Spectrograph : 1700 Gm
Vacuum Interface : 550 Gm

Motorized wavelength monochromator


Spectra



Dimensions